天华超净发明的具备静电消除功能的空气过滤装置，相比于传统方案，该方案将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电集尘除静电技术相结合，不仅提高了除尘的效率和效果，同时还实现了静电的去除。

集微网消息，据天华超净披露年年度报告称，天华超净持续加大新客户的挖掘力度，积极开拓防静电超净技术产品的新市场。

我们知道，在电子行业的精密制程中，需要控制静电及空间环境的洁净度，也就是报告中提到的防静电超净技术。通常来说，环境空间的静电一般来源于以下几个方面：

（1）在采用空气过滤装置对空气进行净化时，空气穿过滤材在过滤灰尘的同时，由于空气与滤材之间的摩擦会导致空气带静电，从而释放到作业空间；

（2）产业作业过程中，有很多工序会产生静电，如：撕除保护膜等。

目前，静电消除是通过在工位架设静电消除器来实现，空间环境的洁净度通过放置于顶部的空气过滤单元来完成的。这种空气过滤单元主要由两部分组成：第一部分是送风的风扇；第二部分是玻纤等过滤材料组成的物理过滤单元。

在这种方案中，由于风机的体积过大，会占用产线的空间位置，并且由于其内部的风源等装置，带来震动、气流扰动等困扰，引起单向流无尘室的气流扰动。同时，空气过滤单元内部的摩擦会带来静电起电现象，导致吹出的风带有很强的极性，不利于空间的静电管控。

为解决现有防静电超净技术中的问题，天华超净在年12月14日申请了一项名为“具备静电消除功能的空气过滤装置”的发明专利（申请号：11474367.9），申请人为苏州天华超净科技股份有限公司。

根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项技术方案吧。

如上图，为该专利中发明的空气过滤装置的整体装配结构示意图，该空气过滤装置包括：沿气流方向依次设置的风源1、过滤单元3、电集尘除静电系统以及臭氧消除单元6，风源可以提供空气流动的动力，当空气通过该装置时，由采用绝缘过滤材料制成的过滤单元来对空气中的异物实现物理拦截，并由电集尘除静电系统对空气进行进一步的电晕集尘以及静电消除。

电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游，臭氧消除单元设置在电集尘除静电系统的气流下游方向，用于保证输出的中性电晕放电离子风中不含臭氧。

如上图，是这种电集尘除静电系统的原理示意图，该系统包括电晕放电集尘单元、采集板5、检测电路10、调节电路9和高压电源，高压电源与电晕放电集尘单元连接用于释放等量的正负离子。为了保证电晕放电的电中性效果，在出风口下侧具有对应的离子平衡检测装置——采集板5，采集板设置在电晕放电集尘单元的气流方向的下游，用于采集放电电流，并在采集板上形成电压信号。

检测电路通过与采集板连接来检测电压信号的大小，调节电路分别与检测电路和高压电源连接，用于根据电压信号调节高压电源的输出，使空间内的正负离子保持平衡。

上图为电晕放电及集尘单元的示意图，该单元包括电极组件2和均流接地板，均流接地板设置在电极组件的上游，与高压电源相连接且共地。在该方案中，采用了两个均流接地板，分别安装在上下两侧，电极组件设置在上侧均流接地板4a和下侧均流接地板4b之间，可以实现对玻纤等绝缘过滤材质产生静电的导走和屏蔽。

以上就是天华超净发明的具备静电消除功能的空气过滤装置，相比于传统方案，该方案将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电集尘除静电技术相结合，不仅提高了除尘的效率和效果，同时，还实现了静电的去除。

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（校对/holly）