随着芯片制程工艺的发展，对超纯水中有机物浓度要求更加苛刻，总有机碳浓度（TOC）要求已至ppt级，在超纯水制备工艺中TOCUV已成为工艺流程中的核心环节，影响最终出水TOC浓度。

TOC降解主要依靠短波长紫外线激发水分子和溶解氧生成强氧化性的羟基自由基（OH·）和臭氧（O3），臭氧在紫外线照射下快速分解形成高浓度羟基自由基，将一部分有机物氧化成CO2，一部分离子化后联合EDI去除，短波长紫外线（nm以下）的输出强度直接决定系统对水中总有机碳（TOC）去除效率。

ZeroTOCTM系统结合最新灯管电极技术、电子整流器技术和光学石英领域最新进展，其短波长紫外线输出比传统灯管高出30%，大大提高系统TOC降解能力并降低系统能耗。