电子元器件生产用纯水设备，目前纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。在电子元器件生产中，纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料，不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。东莞佳洁介绍下电子元器件纯水设备的解决方案及实例说明。

现以潮州三环集团公司（主要生产陶瓷插芯，阻容元件，陶瓷材料）使用纯水设备工程系统的实况，说明纯水技术在电子元器件制造中的应用。其纯水制造系统工艺流程为：原水-前级超滤---一级反渗透---pH调节---二级反渗透---后级超滤

1、前级超滤

前级UF是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物，降低水的SDI值，确保RO的安全运行。前级UF有5组，每组45根组件，共根组件，进水m3/h，透过水m3/h，浓缩水排放，回收率约90%。组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil（0.51mm），共有根纤维，膜面积ft2，膜材料为PS（聚砜），截留分子量8万。超滤前采用5μm保安过滤器。

2、一级RO

水中加入还原剂Na2SO3（加药量为水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蚀RO膜，加入防垢剂（NaPO3）6（加药量为5ppm）以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上结垢，再经5μm保安过滤器后由高压泵打进一级RO。一级RO有4组，均为二段。其中三组为每组8根膜容器，呈（5+3）排列，第4组为11根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由FRP（玻璃钢）制成，每根内装6个RO元件，总共为个RO元件，进水m3/h，透过水m3/h，浓缩水排放，回收率为75%，脱盐率＞90%（初始脱盐率＞99%），操作压力1.55MPa。RO元件为美国(海德能)公司生产，型号CPA3。元件直径8in，长40in，卷式膜，膜面积ft2，膜材料为芳香聚酰胺复合膜，元件脱盐率≥99.5%。

3、二级RO

一级RO水箱出水中一部分进入A系统，先加NaOH（CP级）调节pH为8.2-8.6，使水中CO2生成HCO3-，被二级RO除去，以减轻混床离子交换的负担，采用二级RO可以使混床再生周期延长一倍，减少再生酸碱耗量，并可进一步去除TOC和胶体物质。二级RO前采用3μm保安过滤器，二级RO为一组三段，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器内装6只RO元件，共60只RO元件，进水70m3/h，出水62m3/h，浓水排至超滤水箱，回收率为90%，脱盐率＞70%(初始脱盐率＞80%)，RO元件的生产厂、型号与一级RO相同。

4、后级超滤

后级UF是用于去除水中的微粒、微生物、胶体、有机物等的终端过滤设备。

A系统后级UF为3组，每组18支，共54支组件，进水92m3/h，出水90m3/h，浓水排至一级RO水箱，回收率约98%。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF--20-PM10，组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil(0.51mm)，共有根纤维，膜面积ft2，膜材料为PS（聚砜），截留分子量1万。

B系统后级UF为8组，每组9支，共72支组件，进水m3/h，出水m3/h，回收率约98%，UF组件制造厂及型号与A系统后级UF相同。

C系统后级UF有3支组件，进水4m3/h，出水3.9m3/h，回收率约98%，UF元件为美国HYDRANAUTICS公司生产，型号-FTV-，组件直径3.94in，长40in，卷式膜，膜面积55ft2，膜材料为聚烯烃，截留分子量5万。

5、微滤

本系统的微滤可分为三类，第一类为前级UF、RO前的保安过滤器，用于去除水中的悬浊物微粒，降低水的SDI值，滤芯为PP（聚丙烯）膜摺迭式滤芯，孔径为5μm或3μm。第二类在离子交换后，用于滤除离子交换树脂碎片，滤芯为PP膜摺迭式滤芯，孔径为1μm。第三类在UV杀菌器后，用于滤除微生物尸体，滤芯为N-6（尼龙6）膜摺迭式滤芯，孔径为0.45μm或0.2μm。

二、电子元器件生产用纯水设备解决方案

1.原水-砂炭过滤器-精密过滤器-原水箱-阳床-阴床-混床(复床)-纯水箱-纯水泵-后置精密过滤器-用水点

2.原水-砂炭过滤器-精密过滤器-原水箱-反渗透设备-混床(复床)-纯水箱-纯水泵-后置精密过滤器-用水点

3.原水-砂炭过滤器-精密过滤器-原水箱-反渗透设备-电去离子(EDI)-纯水箱-纯水泵-后置精密过滤器-用水点

东莞佳洁拥有多项超纯水专用膜核心技术，专业量身定制水处理方案，可将水质达到18.2MΩ、溶解氧含量3～10ug/L，完全符合电子元器件生产用水需求。

潮州三环集团公司超滤+二级反渗透纯水项目