去除器

半导体行业TOC小于5ppb

发布时间:2024/12/4 13:37:42   

在超纯水的制备中最经常出现TOC过高的现象,很多用户不知道应该如何解决,其实我们在发现TOC过高时,应该先找出TOC过高的原因是什么,只有知道原因才能够选择到合适自己的解决方法,TOC过高的原因不同,解决方法也各不相同,小编为大家详细的介绍产水TOC过高的解决方法。

TOC要如何检测?

网上检测TOC的方法有很多,小编推荐大家使用臭氧氧化法进行检测,这个方法是利用臭氧的强氧化性对水中的TOC进行检测,这种方法具有无污染、反应速度快、应用价值高等优势,是目前使用较多的一种方法。

超纯水树脂产水TOC过高的原因:

预处理不当:

有的原水TOC含量本来就非常高比如地表水,如果不对原水进行预处理,原水直接进入树脂罐中,超纯水树脂只能清除原水中的离子,而无法有效降低TOC含量,导致产水中TOC含量过高,一般情况下原水TOC应小于20ppb。

有的用户虽然加入了预处理设备,但是还是会出现TOC含量过高的现象,经过技术人员现场分析,发现是用户由于原水中含有大量的HCO3、CO2,所以脱气塔对HCO3、CO2进行去除,而脱气塔会与大气接触,大气中含有大量TOC,所以才会出现这种现象。

树脂污染:

目前国内使用的超纯水树脂基本都是阴、阳混床树脂,而阴离子交换树脂在使用过程中会增加水中的TOC含量,不过一般阴树脂造成TOC过高的现象是比较少的。

管道材质:

产水在经过超纯水树脂处理之后,还需要经过管道流入水箱,而国内目前最经常使用的管道材质有两种,分别是PVC和PVDF材质,PVC材质也会导致TOC含量增加。

如何解决?

如果原水TOC含量过高,那么小编通常使用多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-保安过滤器-一级反渗透作为预处理设备,是一种能够有效降低TOC含量的方法,在超纯水系统中正常使用是没有问题的。

应用于超纯水设备中的管道建议采用PVDF材质,不仅能够有效降低产水TCO含量,还能够有效防止产水出现被污染的现象。

还可以使用EDI模块,也可以有效降低TOC含量,EDI可将70%~80%的TOC氧化,剩下的20%也能够通常EDI内部的膜进行过滤,过滤效果非常好,是目前比较常用的方法。



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