天华超净发明的静电消除器的工作性能监测方案，能够监测静电消除器的离子衰减能力以及衰减时间，并判断静电消除器的离子消散能力是否减弱，从而实现对静电消除器工作性能的监测。

集微网消息，在很多产品生产过程中，会产生大量的静电，且由于静电的瞬间放电电压很高，会对产品产生很大的危害。

目前，在生产环境中会采用静电消除器来消除环境中的静电，以保证产品的性能和质量。但是，静电消除器长时间使用会导致其性能失效，如果性能失效则会从静电消除器转变为静电员，反而会危害产品的生产。

因此，需要采用静电分析仪等来监控静电消除器的性能。目前，静电分析监控设备，如Trek的手持式仪器，是通过离子消散能力来判断静电消除器是否工作的。而Trek的手持式仪器，缺点是成本高，难以多个部署，且体积大不方便，数据需要人员记录；另外在测试时需要加压超过V，测试时容易造成其他产品感应带电。

除此之外，静电消除器广泛使用，如果其性能失效，会从静电消除器变为静电源，危害产品安全。因此，急需对静电分析监控设备进行改进，并根据改进后的设备提供一套适合的监测方法。

为此，天华超净在年2月8日申请了一项名为“静电消除器工作性能监测方法”的发明专利（申请号：10172361.4），申请人为苏州天华超净科技股份有限公司。

根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项技术方案吧。

如上图，为该专利中发明的静电消除器工作性能的监测方法。该方案中改变了现有采集平板的尺寸、层数和结构原理，使采集平板更加小巧，从而可以更加便捷的将采集平板放置在设备仪器内进行实时监测。

该静电消除器性能在线监方法包括以下步骤：

1）将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板，安装在待监测的静电消除器的出风口位置处；

2）在线监测静电消除器的平衡电压是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常；

3）在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常，以判断对应的静电消除器工作状态是否正常。

在步骤1）骤中，会使用高精度静电分析仪，来测量风口处测量点在平衡电压从V衰减到V的衰减时间，然后调节该平衡电压并依次记录不同平衡电压的衰减时间。

接着，采用该方案中提出的静电消除器性能在线监测仪替换Trek在同样的测量点测量标准静电消除器的风口处平衡电压从起始电压衰减到结束电压的衰减时间。同样调节风口处测量点的平衡电压，并依次记录在线监测仪测得的不同平衡电压的衰减时间。

最后，通过对上述记录的数据进行比较，就可以分析出静电消除器在所有电压段的衰减时间，以及与静电分析仪测试的从V衰减到V的衰减时间接近的电压段。进而以和静电分析仪接近的衰减时间对应的电压段，作为校准后的静电消除器性能在线监测仪的平衡电压。

如上图，是在步骤2）中，静电消除器在工作时作用在采集平板上的离子平衡电压的衰减曲线。在该步骤中，首先通过实验的方法获取静电消除器在不工作状态下的平衡电压特征参数的基准值。然后，通过静电消除器性能在线监测仪获取采集平板上的平衡电压，并计算出平衡电压从衰减开始至衰减结束之间的实测平衡电压的特征参数。最后，将特征参数和平衡电压特征参数的基准值进行比较，判断静电消除器是否处于工作状态。

如上图所示，可以看到作用在采集平板上的离子平衡电压的衰减曲线较为陡峭，且下凹较明显，图中的数值为平衡电压从衰减起始到衰减结束之间的电压积分计算。

如上图，为静电消除器在工作状态下输出的衰减速率示意图，很明显静电消除器在工作时衰减速率成锯齿状，波动大，离散性较大，而相对的其在不工作时衰减速率波动就较小，离散性小。通过判断离散性大小就可以判断出静电消除器有没有在工作。

最后，在步骤3）中，会进行衰减时间循环判断的测试，该测试由上位机发出测试指令后进入衰减时间测试，或者通过监测仪的手动按键触发进行测试。当进入衰减时间测试时，将静电消除器性能在线监测仪的采集平板的对地回路接通，泄放掉采集平板上原有的电压，并等待一定时间以保证电压完全泄放。

以上就是天华超净发明的静电消除器的工作性能监测方案，该方案中的监测方法能够监测静电消除器的离子衰减能力以及衰减时间，并判断静电消除器的离子消散能力是否减弱，从而实现对静电消除器工作性能的监测。

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（校对/赵月）